易威奇化學補給泵CFD系列IWAKI易威奇

每次注射1mL，大大提高了點膠性能。

每次噴射 1mL，大大提高了點膠性能

Iwaki 推出了 Iwaki 化學品補充泵 CFD 系列。

■□■特點■□■ ■準確注入所需的最少量的化學溶液，并能精確地

控制晶圓清洗液的濃度。
非常適合控制晶圓清洗液的濃度。它可以抑制濃度超調(diào)，還有助于降低清潔溶液的成本。

■優(yōu)異的耐腐蝕性
所有接液部件均采用氟樹脂（PTFE、PFA、PCTFE）制成，與強酸、強堿、過氧化氫等化學溶液兼容。
泵的外部采用樹脂和涂層螺栓。

■安全設計
以壓縮空氣為動力的安全氣動波紋管泵。
防虹吸機構(gòu)可防止化學溶液流出。
CFD-1T-B 標配泄漏傳感器，可檢測波紋管損壞情況。

■排放量范圍廣
規(guī)格可靈活設定，覆蓋排放量范圍廣。
出廠設置為 CFD-1T-B：1mL/次，CFD-8T-B：8ml/次。

*如需了解更多信息，請下載 PDF 或隨時聯(lián)系我們。

基本信息易威奇化學補給泵CFD系列

【一般規(guī)格】
■型號：CFD-1T-B?CFD-8T-B
■最大吐出量：1mL/次?8mL/次
■供給氣壓：0.15～0.3MPa
■最大空氣消耗量：2.5NL/min注?5.4 NL/min注
■最大行程數(shù)：30spm
■主要材質(zhì)：PTFE、PFA、PCTFE
■液體溫度范圍：20～60℃
注：供給氣壓為0.3MPa時，行程數(shù)為30spm，排出壓力為0.05MPa

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