易威奇氣動波紋管泵 FS-N系列IWAKI易威奇
氣動氟樹脂大型波紋管泵，輸送量可達100L/min

■高速行程
■無污染設計
■大流量/高壓排出

基本信息易威奇氣動波紋管泵 FS-N 系列

[特點]
■高速沖程
該泵具有高速沖程（最大200 spm：FS-80N），因此結構緊湊、重量輕、成本低。

■無污染設計
所有接液部件均采用氟樹脂，無污染設計。此外，使用我們獨特的軸密封件（專利：FS-80N）減少了顆粒的產生。

■大流量/高壓排出
供氣壓力可達0.7MPa，因此可用于廣泛的應用，包括需要高壓、大流量排出的化學品供應過程，以及清洗和凈化等。 CMP 工藝。