日本柏山工業(yè)株式會社 干式真空泵“SDE-TX系列”

適用于所有工藝的高度耐用的干式真空泵！致力于工藝性能

“SDE-TX系列”
是樫山工業(yè)的干式真空泵，在半導(dǎo)體和液晶制造等廣泛領(lǐng)域贏得了高度信賴。

采用耐沉積物性能優(yōu)良的立式螺桿，
根據(jù)結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)置，表現(xiàn)出高耐腐蝕性。

[Hirsch 工藝示例]
■Metal-Etch
■SA-CVD
■Metal-CVD
■PE-CVD
■LP-CVD
■ALD

*詳情請參閱PDF文件或隨時(shí)與我們聯(lián)系。

基本信息干式真空泵“SDE-TX系列”

【ラインアップ】
■SDE120TX
■SDE303TX
■SDE603TX
■SDE1203TX
■SDE20M12TX
■SDE30M12TX

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