光度計/ UV-M10
特征?配備紫外線照射控制信號的紫外線光度計。?具備10路光量設定、光量測定、照度測定定時器設定、時間測定等多功能。?即使在光強度測量過程中,也可以切換顯示,例如切換到照度或時間顯示。?可以根據(jù)用途選擇內(nèi)置型UV-M10-P和桌面型UV-M10-S兩種類型。(照片為桌面型。)?接收器標準設置為UV-35。通過更換可選接收器可以測量 UV-25 和 UV-42。規(guī)格接收者UV-35 (UV-SN35,
特征?配備紫外線照射控制信號的紫外線光度計。?具備10路光量設定、光量測定、照度測定定時器設定、時間測定等多功能。?即使在光強度測量過程中,也可以切換顯示,例如切換到照度或時間顯示。?可以根據(jù)用途選擇內(nèi)置型UV-M10-P和桌面型UV-M10-S兩種類型。(照片為桌面型。)?接收器標準設置為UV-35。通過更換可選接收器可以測量 UV-25 和 UV-42。規(guī)格接收者UV-35 (UV-SN35,
?配備紫外線照射控制信號的紫外線光度計。
?具備10路光量設定、光量測定、照度測定定時器設定、時間測定等多功能。
?即使在光強度測量過程中,也可以切換顯示,例如切換到照度或時間顯示。
?可以根據(jù)用途選擇內(nèi)置型UV-M10-P和桌面型UV-M10-S兩種類型。(照片為桌面型。)
?接收器標準設置為UV-35。通過更換可選接收器可以測量 UV-25 和 UV-42。
接收者 UV-35 (UV-SN35, UV-SD35) 測量光強范圍 0.01~999.9mJ/c㎡ 計時器 0.01 至 999.9 秒 照明 可切換
范圍 1 0.01 至 10.00
范圍 2 0.1 至 50.0mW/c㎡可用范圍 主機 0 至 40°C 接收器 0 至 60°C 電源 AC85-264V, 47-63Hz 輸入/輸出信號
(D-sub 連接器)輸入 (1) 遠程啟動 (2) 遠程停止
繼電器觸點輸出 (1) NO(啟動時開啟) (2) NC (3) 警報對準精度 與我們的紫外線標準相比,在 ±2% 以內(nèi) 重復性 ±1.0以內(nèi) 照度計采樣時間 1秒 尺寸 機身 207(W)×166(D)×80(H)mm
接收器 35(W)×55(D)×18(H)mm選項 中性過濾器 耐熱傳感器代碼
接收器 UV-25、UV-42
SD型已被長期使用曝光設備和輻照設備的客戶廣泛采用,確保了過程管理的連續(xù)性。
SD 型適用于在半導體和液晶基板的制造過程中已經(jīng)使用其他公司的照度計,并重視確保與這些測量儀器(投影型曝光設備)的數(shù)據(jù)兼容性的客戶。用于液晶基板的曝光設備和周邊曝光設備),以及完全不熟悉使用照度計的客戶。
為保證舊工藝數(shù)據(jù)的兼容性,SN型指示值為SD型。調(diào)整為顯示比當時指示的照度值高39%:mW/cm2顯示)。