HORIBA堀場低濃度HF / HCl / NH3 濃度監測儀HF-960M

最適合一浴清洗和單張清洗，高精度測量低濃度氫氟酸、鹽酸和氨

在半導體清洗過程中，隨著器件的演進和小型化，需要將用于RCA清洗的化學溶液控制在低濃度。

HF-960M 使用具有優異耐腐蝕性的傳感器，可高速測量低濃度的氫氟酸、鹽酸和氨水，是一浴清洗和單晶片清洗的理想選擇。

特征：測量 5 種 HF 濃度、HCl 濃度、NH3 濃度、電導率和溫度

模擬輸出可在濃度測量范圍內任意設定

配備7個觸點輸出點

配備3個傳輸輸出

規格：產品名稱低濃度HF / HCl / NH 3濃度監測儀

型號名稱HF-960M

環境溫度-5 至 45°C

相對濕度20-85%（無冷凝）

儲存溫度-25 至 65°C

電源供應額定電壓 24V DC 10W (max)

外形尺寸96 (W) x 96 (H) x 115 (D) 外殼深度：約 105 mm（安裝在面板上時）

大量的約550克

符合標準CE 標志，FCC Part15

可滾動的

外形尺寸等（單位：mm）