HORIBA堀場平板碳傳感器電導儀HE-960LF / FS-09F-1 / 2　

漿料濃度控制的理想選擇

保持漿料的稀釋恒定是有效的。保持適當的電導率值有助于晶片拋光工藝中的工藝穩定性。

即使是高粘度的樣品液（CMP Slurry），也采用了降低樣品液粘附在電極上的風險的傳感器結構。

此外，傳感器采用耐化學腐蝕的接液材料制成，滿足半導體工藝的清潔度要求。除上述外，還可用于半導體工藝開發階段的引入，以及控制特殊化學品的導電性。

特征:

高精度/高穩定性

測量范圍：0 至 2,000 μS/cm，0 至 10,000 μS/cm

重復性：±0.5% F/S，±1.0% F/S

無金屬污染

由于極性材料使用特殊碳，因此無需擔心金屬污染洗脫。

配備濃度轉換功能

通過輸入化學濃度和電導率之間的關系以及溫度特性，可以進行兩種濃度轉換。特別適用于低濃度化學品的稀釋控制。

節省空間

通過比我們傳統的電導率傳感器小型化，提高了安裝布局的自由度。