HF-960EM 是使用帶有完全 PFA 接液部件的傳感器的型號，以滿足半導體工藝的清潔度要求。傳感器尺寸已縮小到最大極限，以支持節省空間的安裝。提高穩定性和重現性準確性，并支持高達 50% 的 HF 濃度的寬測量范圍。

·特征：HF 密度高達 50% 的寬范圍設置

·高穩定性/再現性精度

內置溫度測量傳感器支持高達 80°C 的 HF 樣品測量。再現精度達到 FS ± 0.5%。

·自動量程兼容功能

·無污染/耐化學性液體傳感器

使用僅使用 PFA 作為接液材料的清潔結構的傳感器。由于它是一種耐化學品傳感器，它還可以測量半導體工藝中使用的各種化學品。

·比我們的傳統傳感器更小、更輕

的傳感器。它的尺寸縮小了 2/3，并且明顯更輕。提高了安裝空間的自由度，例如安裝在單晶片噴嘴的前面。

規格：

模型HF-960EM

測量范圍HF：0 -50%，HCl：0 -10%，電導率：0――2000 mS/cm

重復性在滿量程的 +/- 0.5% 以內（等效輸入）

直線度滿量程 +/- 0.5% FS 或更?。ǖ刃л斎耄?/span>

傳輸輸出輸出點數：4點

接點輸出輸出點數：5點

觸點輸入輸入點數：2點

通訊功能RS-485

電源供應直流 24 V +/- 10% 15W

合格傳感器CM-520 系列

潤濕部分粉煤灰