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KOFLOC科賦樂

KOFLOC科賦樂 緊湊型質量流量計MODEL 3765

KOFLOC科賦樂 緊湊型質量流量計MODEL 3760 SERIESKOFLOC科賦樂 緊湊型質量流量計MODEL 3765MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開發的緊湊型低成本質量流量計。它是作為大學和研究機構研發應用的各種分析儀器和真空設備的標準模型而開發的。配備流量傳感器,采用改進的恒流溫差檢測方法,實現高速響應我們不選擇緊湊的身體設置的地方模型37603765流量范圍(

KOFLOC科賦樂 緊湊型質量流量計MODEL 3760 SERIES

KOFLOC科賦樂 緊湊型質量流量計MODEL 3765


MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列

開發的緊湊型低成本質量流量計。

它是作為大學和研究機構研發應用的各種分析儀器和真空設備的標準模型而開發的。

配備流量傳感器,采用改進的恒流溫差檢測方法,

實現高速響應

我們不選擇緊湊的身體設置的地方


模型37603765
流量范圍
(N2轉換20°C / 1 ATM)
10SCCM~20SLM(可選)30SLM~100SLM(可選)
傳感器方式熱繞組傳感器
響應速度在2秒內在3秒內
準確性±1.0%FS(25°C)±1.5%FS(25°C)
溫度系數±0.1%FS /°C(15~35°C)±0.2%FS /°C(15~35°C)
再現性±0.5%F.S.(20°C)
耐壓980kPa(G)
He泄漏率(* 1)1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度5~45℃
允許環境濕度10~90%RH(無結露)
氣體接觸材料車身SUS316L
密封材料FKM(選件CR或NBR)
電氣連接Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
流量輸出信號0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上)
所需電源+15 VDC(±5%)100 mA,
-15 VDC(±5%)100 mA
接頭
(體型)
標準1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF)
選項1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
標準3 / 8F 900(9 / 16.18 UNF)
選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等
重量約800g約1000g



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