半導體制造設備SVS-7 絕對壓力基準高真空開關SANWA三和電機
玉崎 SANWA三和電機 SVS-1 用于所有工業設備 標準真空開關全新原裝 SANWA三和電機 SVS-1WP 防水真空開關全新原裝 SANWA三和電機 真空開關SVS-1F 適合設置微壓差SVS-5K微型真空開關 適合檢測內壓型防爆設備 SANWA三和電機SVS-5防水微真空開關 用于氣體和液體SANWA三和電機SVS-5A真空開關 微真空控制(0至-50kPa)SANWA三和電機半導體制造設
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玉崎 SANWA三和電機 SVS-1 用于所有工業設備 標準真空開關
全新原裝 SANWA三和電機 SVS-1WP 防水真空開關
全新原裝 SANWA三和電機 真空開關SVS-1F 適合設置微壓差
SVS-5K微型真空開關 適合檢測內壓型防爆設備 SANWA三和電機
SVS-5防水微真空開關 用于氣體和液體SANWA三和電機
SVS-5A真空開關 微真空控制(0至-50kPa)SANWA三和電機
半導體制造設備SVS-7 絕對壓力基準高真空開關SANWA三和電機
防水絕對壓力參考高真空開關,帶接線盒,采用堅固的鋁壓鑄蓋。
波紋管內部與真空中的檢測元件一樣處于高真空狀態,因此具有不易受到大氣壓力波動影響的結構。
廣泛應用于半導體制造設備、化學分析設備、真空蒸發設備、機械增壓器等。
接線安裝時,開關內部有 3P 端子排,可使用外皮直徑為 φ7 至 φ11 的輪胎簾線進行接線。
安裝方式有法蘭式和旋入式。還提供 VCR 接頭和套圈。
是具備單極雙擲接點,在設定真空度的上限、下限同時得到ON-OFF的2點控制信號,
根據需要可以變更設定真空度的真空自動控制開關。
真空檢測元件使用多級波紋管。
電開閉機構通過敏銳的捕捉動作機構確保開閉的可靠性,簡單的設計累積誤差少,
是動作靈敏度高的構造,作為要求精度高的長壽命性的真空控制的檢測端是合適的。
產品規格
1.受壓部(接液部)
鋅合金壓鑄ZDC2(標準品)
不銹鋼SUS-304?SUS-316
黃銅C3604BD(Ni電鍍處理)
2.受壓元件
多級波紋管材質磷青銅(受壓鋅合金壓鑄)
磷青銅(受壓部黃銅)
不銹鋼(受壓不銹鋼)
NBR(受壓鋅合金壓鑄、黃銅)
FPM(受壓部不銹鋼)
EPDM
4.安裝
G1/4?G3/8(標準品)?Rc1/4?Rc3/8
另外還準備了下述的接頭,還有下述沒有的接頭
制作成指示形狀。