特點/應用該設備作為半導體行業(yè)的晶圓干燥設備有著良好的記錄。利用離心力和氣流清潔地排出和干燥工件。搖籃升高機構(gòu)自動升高搖籃。主要規(guī)格電源AC200V 3φ 50/60Hz 15A駕駛空氣0.5Mpa（5公斤/平方厘米）最大處理能力6 英寸托架 x 2 個機架5 英寸或更小的托架 x 2 個機架或 4 個機架允許裝載重量2,000g以內(nèi)（每個支架的負載重量）超高效過濾器是的離子發(fā)生器是的控制PLC/
該設備作為半導體行業(yè)的晶圓干燥設備有著良好的記錄。利用
離心力和氣流清潔地排出和干燥工件。
搖籃升高機構(gòu)自動升高搖籃。
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 15A |
|---|---|
| 駕駛空氣 | 0.5Mpa（5公斤/平方厘米） |
| 最大處理能力 | 6 英寸托架 x 2 個機架 5 英寸或更小的托架 x 2 個機架或 4 個機架 |
| 允許裝載重量 | 2,000g以內(nèi)（每個支架的負載重量） |
| 超高效過濾器 | 是的 |
| 離子發(fā)生器 | 是的 |
| 控制 | PLC/變頻器 |
| 操作部分 | 按鈕開關(guān) |
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 1,000rpm （正常轉(zhuǎn)速800rpm） |
| 發(fā)動機 | 變頻電機 |
| 尺寸 | 800(W)×990(D)×1004(H)mm 蓋子打開時的高度 1528(H)mm |
| 重量 | 180公斤 |
*我們還有支持最大8英寸的設備陣容，手動機、自動機等。對于
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