樣品全新TOKYOKEISO東京計裝 質(zhì)量流量計/控制器 HM5000型樣品全新TOKYOKEISO東京計裝 質(zhì)量流量計/控制器 HM5000型樣品全新TOKYOKEISO東京計裝 質(zhì)量流量計/控制器 HM5000型HM5000是一款用于氣體的質(zhì)量流量計。 有通用型和高性能型兩種類型，您可以根據(jù)自己的應(yīng)用和目的進(jìn)行選擇。特征· 流量范圍廣0.5 mL/min （nor） 和 0.400 L/min
樣品全新TOKYOKEISO東京計裝 質(zhì)量流量計/控制器 HM5000型
樣品全新TOKYOKEISO東京計裝 質(zhì)量流量計/控制器 HM5000型
樣品全新TOKYOKEISO東京計裝 質(zhì)量流量計/控制器 HM5000型
HM5000是一款用于氣體的質(zhì)量流量計。 有通用型和高性能型兩種類型，您可以根據(jù)自己的應(yīng)用和目的進(jìn)行選擇。
0.5 mL/min （nor） 和 0.400 L/min （nor） 的寬范圍
±1% F.S.（高性能型）
軟啟動功能（僅限常閉型）
輸出信號 1.5VDC
· 一般工業(yè)流程 · 各種化學(xué)分析 · 半導(dǎo)體制造工藝 · 氣體恒流控制、混合控制 · 內(nèi)置設(shè)備用法
主要技術(shù)指標(biāo)
類型
通用質(zhì)量流量計
HM5122B， HM5123B
質(zhì)量流量控制器
HM5172B， HM5182B
HM5173B高性能
質(zhì)量流量計
HM5111B、HM5112B HM5113B
質(zhì)量流量
控制器 HM5141B、HM5151B
HM5142B、HM5152B
HM5143B測量目標(biāo) 一般氣體 口徑 1/4"、3/8"、1/2" 流量范圍 最大：0 ~ 400L/min（nor） 最小
：0 ~ 30L/min（nor）最大值：0 ~ 400L/min（nor） 最小
值：0 ~ 5mL/min（nor）流體溫度 5 ~ 45°C 流體壓力 0.97MPa以下 過程連接 標(biāo)準(zhǔn)：SW（選項：VCR、VCO） 測量精度 ±2.0% ~ ±4.0%F.S ±1.0% ~ ±2.0%F.S