貨期短OHKURA大倉 質量流量計和質量流量控制器 MF5100B
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流量范圍廣 流量范圍廣,從最小 5 SCCM 到最大 400 SLM。
■高可靠性
通過集成每個電路并優化機械系統,盡管體積小,但我們實現了高可靠性。
■ 軟啟動功能
主機內置的軟啟動功能為線性上升,時間可調(最長70秒),并以三種不同的模式運行(更改設置時、打開電源時、外部閥門關閉→打開時)。
■ 高穩定性
:溫度穩定性為0.05%/°C,泄漏標準可達1×10-10Pa·m3/s(He)。
* 有關規格,請參閱規格表。