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OHKURA大倉

貨期短OHKURA大倉 金屬隔膜減壓閥 RD2210A

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貨期短OHKURA大倉 金屬隔膜減壓閥  RD2210A

這是一種金屬隔膜減壓閥,可用于摻雜和外延等半導體行業,用于各種化學分析,用于特殊氣體、高純氣體、腐蝕性氣體等。
長處

■ 清潔材料
隔膜采用金屬粘接,與主體密封,所有產品均經過尕檢漏、無油、無水、清潔。

■ 通用性高
高壓和低壓共有8種類型,面板是和底部是可能的。

規范
項目高壓
RD210A1□1□
用于
低壓 RD210A4□2□
壓力最大24.5MPa最大2.94MPa
一次壓力最大 14.7MPa最大 2MPa
設定壓力范圍171.6千帕
343千帕
686千帕
1372千帕
2059千帕
171.6千帕
343千帕
686千帕
有效孔口φ0.7φ2
CV值0.0150.1
一次壓力特性*10.5%
*1 一次壓力特性(設定壓力波動范圍/一次壓力波動范圍) ×值 100 (at 10 l/min)
1.3%
*1 一次壓力特性(設定壓力波動范圍/一次壓力波動范圍) ×值 100 (at 10 l/min)
再現性±0.98kPa
磁滯現象±3.92kPa
外部泄漏1.013×10-10Pa?m3/s(He)以下
內部泄漏1.013×10-8Pa?m3/s(He)以下
接液流體部件的材料SUS316,SUS316L,PCTFE
工作溫度范圍-10~80°C
港口60°進×2出×290°進×1出×2
連接端口
( Connection VCR )
1/4NPT
Rc1/4
VCR1/4GR *2
*2 VCR 是世偉洛克公司的注冊商標。
質量920克
面板切割φ33


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